Projet de comité
ISO/CD 13084
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Étalonnage de l'échelle de masse pour un spectromètre de masse des ions secondaires à temps de vol
Numéro de référence
ISO/CD 13084
Edition 3
Projet de comité
ISO/CD 13084
90332
Examen du projet par le comité en cours.
Remplacera ISO 13084:2018

Résumé

This document specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight secondary ion mass spectrometry (SIMS) instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restricted to any particular instrument design. Guidance is provided for some of the instrumental parameters that can be optimized using this procedure and the types of generic peaks suitable to calibrate the mass scale for optimum mass accuracy.

Informations générales

  •  : Projet
    : CD approuvé pour enregistrement comme DIS [30.99]
  •  : 3
  • ISO/TC 201/SC 6
  • RSS mises à jour

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