Numéro de référence
ISO 23131:2021
Norme internationale
ISO 23131:2021
Ellipsométrie — Principes
Edition 1
2021-04
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ISO 23131:2021
74663
Publiée (Edition 1, 2021)

ISO 23131:2021

ISO 23131:2021
74663
Langue
Format
CHF 96
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Résumé

Le présent document spécifie une méthode de détermination des constantes optiques et diélectriques dans la gamme spectrale UV-VIS-PIR ainsi que des épaisseurs de couche dans le domaine du contrôle de production sur ligne, de l’assurance qualité et de la mise au point de matériau par des laboratoires d’essai accrédités.

Il s’applique aux systèmes de mesure indépendants. La présentation de l’incertitude des résultats est conforme à l’ISO/IEC Guide 98-3.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2021-04
    : Norme internationale publiée [60.60]
  •  : 1
     : 15
  • ISO/TC 107
    17.020 
  • RSS mises à jour

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