Reference number
ISO/TS 22933:2022
Technical Specification
ISO/TS 22933:2022
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
Edition 1
2022-04
Technical Specification
Preview
ISO/TS 22933:2022
74193
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2022)

ISO/TS 22933:2022

ISO/TS 22933:2022
74193
Langue
Format
CHF 96
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Résumé

This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.

Informations générales

  •  : Publiée
     : 2022-04
    : Norme internationale publiée [60.60]
  •  : 1
  • ISO/TC 201/SC 6
    71.040.40 
  • RSS mises à jour

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