Тезис
This document specifies the design and metrological characteristics of phase shifting interferometry (PSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements.
Общая информация
-
Текущий статус: ОпубликованоДата публикации: 2025-02Этап: Опубликование международного стандарта [60.60]
-
Версия: 2
-
Технический комитет :ISO/TC 213ICS :17.040.20
- RSS обновления
Жизненный цикл
-
Ранее
ОтозваноISO 25178-603:2013
-
Сейчас
-
00
Предварительная стадия
-
10
Стадия, связанная с внесением предложения
-
20
Подготовительная стадия
-
30
Стадия, связанная с подготовкой проекта комитета
-
40
Стадия, связанная с рассмотрением проекта международного стандарта
-
50
Стадия, на которой осуществляется принятие стандарта
-
60
Стадия, на которой осуществляется публикация
-
90
Стадия пересмотра
-
95
Стадия, на которой осуществляется отмена стандарта
-
00