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Norme et/ou projet sous la responsabilité directe du ISO/TC 202/SC 4 Secrétariat Stade ICS
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image
95.99
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Lignes directrices pour l'étalonnage du grandissement d'image
90.93
Analyse par microfaisceaux - Microscopie électronique à balayage - Qualification du microscope électronique à balayage pour des mesures quantitatives
90.20
Analyse par microfaisceaux — Méthode d’évaluation des dimensions critiques par CD-SEM
60.60
Analyse par microfaisceaux — Microscopie électronique à balayage — Méthodes d'évaluation de la netteté d'image
90.93

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